מערכת RF של ציוד תחריט

מערכת RF מורכבת בדרך כלל מחולל RF והתאמה RF, היא אחת ממערכות הליבה של ציוד תחריט, השוק הנוכחי בתחום זה תפוס בעיקר על ידי Youyi Semiconductor של ארצות הברית (AE), Wanji Instrument (MKS) ו-Comed Ed. ספק כוח RF הוא ספק כוח שיכול לייצר תדר קבוע של מתח גלי סינוס ובעל הספק גבוה. לאחר שגז התחריט (בעיקר CF4) מועבר לתא התגובה דרך מערכת הגז, הוא מיונן על ידי השדה החשמלי בתדר גבוה (בדרך כלל 13.56MHz) שנוצר על ידי ספק הכוח RF, וכתוצאה מכך פריקת זוהר, המשלימה את מעבר ממולקולות גז ליונים, יוצר פלזמה ומשפר את תגובת הגז. אספקת הכוח RF קשורה ישירות לריכוז הפלזמה, האחידות והיציבות בתא התגובה. ברוב מכשירי התחריט, אספקת הכוח RF משמשת יחד עם ספק הכוח DC כדי לשלוט בצפיפות ובאנרגיה של היונים, בהתאמה. בשל ההשפעה המואצת של השדה החשמלי, יונים בדרך כלל חורטים פרוסות בצורות פיזיות וכימיות כאחד. בנוסף, מערכות RF מהוות חלק חשוב מציוד להנחת סרטים דקים, מכונות ניקוי ניקוי, משתלי יונים וציוד ניקוי.

שילוב נפוץ של תצורות מערכת RF עבור ציוד תחריט הוא ספק כוח RF בתדר קבוע והתאמה מתכווננת. במהלך תהליך התחריט, המתאם יתאים באופן אוטונומי את הקבל המתכוונן הפנימי כדי להתאים את עכבת המוצא של ספק הכוח עצמו ואת עכבת עומס התגובה כדי להשיג את תפוקת ההספק המלאה של ספק הכוח RF. במצב התאמה אידיאלי, ניתן להעביר את כל אותות ה-RF למצב העומס ולהפחית את ההספק המשתקף של האנרגיה שלהם. כאשר עכבת העומס והעכבה של היציאה של ספק כוח הרדיו אינם במצב תואם, חלק קטן מאותות הקלט ישתקף בחזרה למקור ה-RF בקצה העומס, והספק המוצא של הספק ה-RF האספקה ​​אינה מנוצלת במלואה, מה שמפחית את היעילות של תגובת התחריט.