מבנה ראשי של ציוד תחריט

 

ניתן לחלק את המבנה של ציוד תחריט מיינסטרים לשני חלקים: הגוף הראשי וציוד העזר. ביניהם, הגוף העיקרי של ציוד התחריט כולל EFEM (קצה קדמי של ציוד), TM (מודול שידור), PM (מודול תהליך) ושלושה מודולים. מודול ה-EFEM אחראי בעיקר על טעינת פרוסות מציוד טיפולים שונים (כולל מעמיסי פרוסות, רובוטים לטיפול ומנופים עיליים) במפעל המוליכים למחצה לציוד תחריט; מודול ה-TM אחראי בעיקר על העברת פרוסות בתוך ציוד התחריט; PM הוא המודול שחרט למעשה את הפרוסה ומתרחשות התגובות הפיזיקוכימיות הקשורות. תפקידו של ציוד העזר הוא לספק תמיכה בערבות לשלושת המודולים לעיל, והפריסה אינה תלויה יחסית בגוף הראשי של המכונה.

עם העלייה בביקוש לכושר הייצור של ציוד תחריט בודד בייצור מעגלים משולבים, מספר חללי התגובה של מכונת תחריט בודדת מראה מגמה מפחות ליותר. בשנות ה-90, טוקיו אלקטרון השיקה לראשונה את סדרת Unity עם מספר כורים על פלטפורמה אחת, ה-Telius, המכונה הראשונה בעולם עם מבנה תא מקביל, וה-Tactras עם 6/8 חללים בשנות ה-2010. סדרת ה- Episode העדכנית של Tokyo Electron יכולה להיות מצוידת בעד 12 חללים, מה שמשפר מאוד את יעילות החלל של ציוד תחריט ומשאיר יותר מקום ל-fabs להרחיב את הייצור.

ציוד תחריט עם כורי תחריט מרובים חיוני ל-fabs להגדיל את כושר הייצור. מכיוון שככל שמספר החדרים במכונה בודדת גדול יותר, כך השטח קטן בממוצע עבור תא בודד. תחזוקת מפעל הטיהור מצריכה עלויות רבות, צמצום השטח התפוס על ידי ציוד בודד, הגדלת למעשה את כושר ייצור הפרוסות של מפעל הטיהור ליחידת שטח, והפחתת עלויות הפחת והתחזוקה של המפעל המוקצים ליחידה אחת. רָקִיק. קצב התגובה איטי יותר, ותפוקת הפרוסים ליחידת זמן נמוכה מזו של הפרוסה (ופל לשעה) (ציוד תחריט דיאלקטרי), הנוטה יותר לאמץ את המבנה האולטרה-מרוב חללים. עם זאת, הגידול במספר תאי PM מציב דרישות חדשות לתהליך הטעינה וההובלה של מודול החזית הקדמי של EFEM ומודול התחבורה TM.