מה זה אץ'?

טכנולוגיית תחריט מוליכים למחצה, כפי שהשם מרמז, היא תהליך של הסרה סלקטיבית של חומרים מפני השטח של מוליכים למחצה כדי ליצור דפוסים או מבנים ספציפיים. זהו תהליך מכריע בייצור התקני מוליכים למחצה, כולל מיקרו-מעבדים, התקני זיכרון וחיישנים, בין היתר.

תהליך התחריט כולל שימוש בכימיקלים או פלזמה כדי להסיר אזורים ספציפיים של פני השטח של החומר. בייצור מוליכים למחצה, הוא משמש ליצירת תכונות מדויקות על פני השטח של פרוסות סיליקון או מצעים אחרים. ניתן לסווג את התהליך לשתי קטגוריות: תחריט רטוב ותחריט יבש.

תחריט רטוב

תחריט רטוב היא שיטת תחריט הכוללת טבילת החומר המוליך למחצה בתמיסה כימית כדי להמיס את האזורים הלא רצויים של פני החומר. הכימיקל המשמש הוא בדרך כלל חומר חומצי, בסיסי או מחמצן המגיב עם החומר. תחריט רטוב הוא תהליך פשוט ובעלות נמוכה שניתן להשתמש בו כדי ליצור תבניות איכותיות ואחידות על פני מצע מוליכים למחצה.

עם זאת, יש לו כמה מגבלות כמו הדרישה להתאים את פתרון התחריט לתכונות החומר וקשיים בשליטה על כיוון התחריט.

תחריט יבש

תחריט יבש היא שיטה מדויקת ומורכבת יותר של תחריט המשתמשת בפלזמה כדי להסיר את החומר מהמשטח. תהליך זה נפוץ יותר בייצור מוליכים למחצה מאשר תחריט רטוב בשל יכולתו ליצור תבניות מדויקות ואחידות יותר.

הפלזמה המשמשת בתהליכי תחריט יבש עשויה להיות גז תגובתי או תערובת של גזים כגון חמצן, כלור או פלואור, המיוננים ולאחר מכן מגיבים עם החומר על ידי הוצאת אטומים מפני השטח.

טכניקת התחריט היבש מציעה שליטה רבה יותר על כיוון ועומק התחריט, ומאפשרת היווצרות של תבניות מורכבות ומסובכות יותר. הוא גם מסוגל להשיג יחס רוחב-גובה גבוה, שהוא היחס בין עומק התכונה החרוטה לרוחבה.

לסיכום, טכנולוגיית תחריט מוליכים למחצה ממלאת תפקיד חיוני בייצור התקני מוליכים למחצה. טכניקות תחריט רטוב ויבש משמשות ליצירת תבניות מדויקות על פני מצעי מוליכים למחצה, כאשר תחריט יבש נמצא בשימוש נרחב יותר בשל הדיוק הגבוה יותר והיכולת ליצור מבנים מורכבים יותר.