היתרונות של תחריט יבש באמצעות אספקת חשמל פועמת?

מהם היתרונות של מצב הדופק על מצב כוח גל רציף? מהם מצבי כוח גל פועמים לעומת גלים רציפים?

כפי שמוצג באיור שלמעלה, הראשון הוא CW, גל רציף. גל רציף (CW) מתייחס לצורת גל שהיא רציפה וקבועה בזמן, עם כוח קבוע ועוצמה. בדרך כלל זה מופיע כאות בתדר יחיד עם ספקטרום צר ופלט יציב. העוצמה הממוצעת של ה- CW שווה לכוח השיא, ומאפייני האות פשוטים וקלים לשליטה. היתרון העיקרי של CW הוא היציבות הגבוהה שלו, מה שהופך אותו לאידיאלי ליישומים שבהם המשכיות האות היא קריטית. יחד עם זאת, לאות CW יש רמת רעש נמוכה, המאפשרת מדידה וניתוח מדויקים. בנוסף, תכנון מערכת CW הוא פשוט יחסית, וניתן להתאים בקלות פרמטרים בקרה כמו כוח ותדר. במצב CW, תפוקת הכוח היא צורת גל רציפה ללא פולסים קצוצים.

0040-31980 תיבת גז EC WXZ

השני הוא PW, כוח פועם. גל דופק הוא צורת גל המופרעת בזמן ומורכבת מסדרת אותות בעוצמה גבוהה בפרק זמן קצר. הפולסים הם משך זמן מוגבל וחוזרים על עצמם לאחר פרק זמן מסוים. לגל הדופק יש את המאפיינים של כוח שיא מיידי גבוה בהרבה מההספק הממוצע, וספקטרום הפלט רחב ומכיל רכיבי תדר יותר. היתרון הגדול ביותר של גל הדופק הוא כוח השיא הגבוה המיידי שלו, שיכול לשחרר אנרגיה גבוהה במיוחד בפרק זמן קצר. בנוסף, בשל התפוקה לסירוגין של האות, העוצמה הממוצעת של גל הדופק נמוכה, מה שמפחית ביעילות את לחץ עומס החום של הציוד. כתוצאה מכך, זה אידיאלי ליישומים הדורשים רזולוציה זמנית גבוהה או כוח גבוה מיידי. במצב PW, כוח הפלט של אספקת החשמל אינו מחלק מהזמן ובחלק מהזמן.

0040-09095 תיבת גז, WCVD
מאפיינים של ספקי כוח פועמים?
1, עבודת המרווח יכולה להפיץ את החום בזמן, כך שלגבלי המגיבים יוכלו להיות זמן להובלה אל פני השטח של הוופל.

2, ניתן להגדיל את כוח הפלט במידה רבה מאוד, משך הזמן קצר ביותר, וניתן לשלוט על כוח הדופק, התדר, הזמן וכו '.
היתרונות של שימוש במצב דופק?
1, ביטול אפקטים של מיקרו. בתחריט מבני עם יחסי גובה גבוהים, כמו חורים עמוקים או חריצים עמוקים. חורים או משבצות בגודל קטן יותר יש קצב תחריט קטן יותר מאשר חורים או משבצות בגודל גדול יותר. אם משתמשים במצב CW, ניתן לשפר את אפקט המיקרו על ידי הפחתת הלחץ והגדלת מתח ההטיה, אך היכולת להשתפר מוגבלת, בעוד שניתן לשפר מאוד את אפקט המיקרו -אפקט באמצעות מצב הדופק.

2, מצמצם את נזקי השטח של הוופל. אם משתמשים בפולסים באספקת הטיה, ניתן להפחית את הזמן שלוקח לפלזמה לתקוף את הוופל, מה שבתורו מפחית את נזקי השטח.